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1.

図書
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1. MEMS/NEMS工学全集 : fundamentals and applications of MEMS/NEMS engineering
桑野博喜監修
出版情報: 東京 : テクノシステム, 2009.4
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2.

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2. マイクロセンサ工学
室英夫編著 ; 藍光郎 [ほか] 著
出版情報: 東京 : 技術評論社, 2009.8
シリーズ名: 現場の即戦力
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3.

図書
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3. はじめてのMEMS
江刺正喜著
出版情報: 東京 : 工業調査会, 2009.9
シリーズ名: ビギナーズブックス ; 48
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4.

図書
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4. MEMSマテリアルの最新技術
江刺正喜監修
出版情報: 東京 : シーエムシー出版, 2007.11
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5.

図書
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5. センサ・マイクロマシン工学
藤田博之編著
出版情報: 東京 : オーム社, 2005.10
シリーズ名: EE text
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6.

図書
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6. MEMS開発&活用スタートアップ : 動作原理,設計・製造工程から応用事例まで
デザインウェーブマガジン編集部編
出版情報: 東京 : CQ出版, 2004.12
シリーズ名: デザインウェーブムック
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7.

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7. マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用
藤田博之著
出版情報: 東京 : 工業調査会, 2003.8
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8.

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8. マイクロマシン技術総覧 : ナノテクノロジーの基盤技術
マイクロマシン技術総覧編集委員会編
出版情報: 東京 : 産業技術サービスセンター, 2003.1
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9.

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9. マイクロマシン : 異種要素を集積化した小形で高度な働きをするシステム
江刺正喜監修
出版情報: 東京 : 産業技術サービスセンター, 2002.2
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10.

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10. マイクロマシン革命 : 日本発超微小機械の衝撃
μMフロンティア研究会編
出版情報: 東京 : 日刊工業新聞社, 1999.2
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